- Registro de imágenes de electrones SEM (electrones secundarios y electrones retrodispersos) y STEM.
- Preparación de muestras electrón-transparentes para TEM/STEM de ultra alta resolución de todo tipo de materiales orgánicos/inorgánicos mediante fresado y adelgazamiento con haces de iones Ga+.
- Realización de estudios tomográficos en modo corte-visualización (slice-and-view o FIB-tomography) de volúmenes micrométricos tanto en modo imagen como en modo analítico (EDS).
- Registro de mapas de fases y orientaciones cristalográficas mediante el registro de imágenes EBSD (Electron Back-Scattered Diffraction).
- Nanoestructuración con diversos tipos patrones mediante eliminación de material con haz de iones Ga+ focalizados.
- Voltaje de aceleración (electrones): 200 V a 30 kV (deceleración a 20 V)
- Corriente del haz de electrones: 1 pA a 400 nA
- Resolución (con electrones): 0.7 nm a 30 kV (STEM), 1.0 nm a 30 kV (SEM), 1.4 nm (1.2 con deceleración del haz) a 1 kV (SEM)
- Voltaje de aceleración (haz de iones Ga+): 500 V a 30 kV
- Corriente del haz de iones: 1.5 pA – 65 nA
- Resolución (haz de Ga+): 3.0 nm
- Inyectores de gases: Pt, C y eliminación selectiva de depósitos de C
- Pletina motorizada en 5 ejes
- Nanomanipulador EasyLift EX con Sistema de navegación en ejes ortogonales y rotación compucéntrica motorizada
- Sistema totalmente automatizado para la preparación de lamelas AutoTEM 4
- Paquete de software para automatización de experimentos FIB-Tomography (AutoSlice and View) en modo estructural y analítico (XEDS)
- Sistema de microanálisis XEDS Oxford instruments Ultim Extreme de 100 mm2 de área de detección.
- Sistema EBSD Oxford instruments C-Nano
- Plasma Cleaner integrado en la cámara
- Criostato para operación a la temperatura del nitrógeno líquido
STEM characterization of thin-films. Thermochromic VO2-Boroflat smart glasses. (A) SEM image; (B) HAADF and composite elemental map from a FIB lamellae prepared in cross-section; (C) line profile analysis; (D) HREM image of the VO2–Borofloat glass substrate interphase and digital diffraction pattern (inset); (E) simulated electron diffraction patterns of two different VO2 phases under kinematic conditions.
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.152228
Nanoscopic and atomic scale characterization of catalytic devices. Combining lamellae preparation by FIBSEM and STEM studies for the analysis of washcoating-layers in honeycomb-type catalytic monoliths. (a) STEM-HAADF image of a lamella prepared from a Mn-Cu/Cordierite monolith. XEDS maps of the different elements involved in the system are shown at the right; (b) Detail of the Mn-CuOx catalyst porous washcoated layer and STEM-XEDS analysis showing intermixing of Al2O3 and Mn-CuOx during the washcoating process.
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.150318
Nanoscopic and atomic scale characterization of catalytic devices. Combining lamellae preparation by FIBSEM and STEM studies for the analysis of CeO2-ZrO2 washcoating-layers in highly stable honeycomb-type monoliths for Methane Dry Reforming. The composite STEM-XEDS map shown at the right allows determining the spatial distribution of the different components of both the monolith substrate and the wascoated catalysts with subnanometric resolution.
