JSM 7600F
El JSM 7600F es un microscopio electrónico de barrido que combina la obtención de imágenes en ultra-alta resolución con la funcionalidad analítica optimizada. Además el microscopio permite la visualización de muestras de hasta 200 mm de diámetro y dispone de una gran variedad de detectores para electrones secundarios, electrones retrodispersados, EDS, WDS, BSED, CL, etc.
¿Qué usos tiene este equipo?
Obtención de imágenes en alta resolución con electrones secundarios.
Obtención de Imágenes con electrones retrodispersados y composición empleando un detector BSED (Back Scattering Electron Detector).
Análisis químico elemental por medio de espectroscopia EDS.
Especificaciones Técnicas
Resolución:
- Electrones secundarios (SEI):
- 1.0nm a 15 kV.
- 1,5nm a 1 kV en modo GB.
- 2,5nm a 1kV en modo SEM.
Voltaje de aceleración:
- 0.1 a 30 kV.
- 0,5 a 30 kV en modo SEM.
- 10 V cada paso desde 0.5 a 2.9 kV.
- 100 V cada paso desde 2.9 a 30 kV.
- 0.1 a 4 en modo GB.
Cañón de electrones:
- Tipo: Schottky emisión de campo.
- Emisor: ZrO/W.
- Alineamiento: Deflexión mecánica y electromagnética.
- Platina totalmente eucéntrica control por ordenador y movimientos motorizados (X, Y, R, T, Z) con corrección de backlash.
Movimientos de muestras:
- Eje X: 70 mm.
- Eje Y: 50 mm.
- Eje Z: 1,5 a 25 mm (continuo).
- Inclinación (T): –5º a +70º.
- Rotación (R): 360º.
Sistema de detección de electrones:
- Detector “in lens” SEI/BEI: Upper. Colector, centellador, guía de luz y tubo fotomultiplicador.
- Detector en cámara de muestras: Colector, centellador, guía de luz y tubo fotomultiplicador. SEI.
- Detector BE de bajo ángulo .
Sistema de vacío:
- Cámaras cañón/intermedia: Bombas iónicas de ultra alto vacío.
- Cámara de muestras: Sistema automático de bomba turbomolecular.
- Válvula aislamiento de la cámara de cañón.
- Bombas de vacío:
- Bombas iónicas (SIP).
- Bomba turbomolecular.
- Bomba rotatoria.
- Tanque de reserva de vacío.
