SEM & DUAL BEAM

Ubicación:Location: cnme - madrid

El JSM 7600F es un microscopio electrónico de barrido que combina la obtención de imágenes en ultra-alta resolución con la funcionalidad analítica optimizada. Además el microscopio permite la visualización de muestras de hasta 200 mm de diámetro y dispone de una gran variedad de detectores para electrones secundarios, electrones retrodispersados, EDS, WDS, BSED, CL, etc.

¿Qué usos tiene este equipo?

• Obtención de imágenes en alta resolución con electrones secundarios.
• Obtención de Imágenes con electrones retrodispersados y composición empleando un detector BSED (Back Scattering Electron Detector).
• Análisis químico elemental por medio de espectroscopia EDS.

Especificaciones Técnicas

Resolución:

• Electrones secundarios (SEI):
  • 1.0nm a 15 kV.
  • 1,5nm a 1 kV en modo GB.
  • 2,5nm a 1kV en modo SEM.

Voltaje de aceleración:

• 0.1 a 30 kV.
• 0,5 a 30 kV en modo SEM.
• 10 V cada paso desde 0.5 a 2.9 kV.
• 100 V cada paso desde 2.9 a 30 kV.
• 0.1 a 4 en modo GB.

Cañón de electrones:

• Tipo: Schottky emisión de campo.
• Emisor:  ZrO/W.
• Alineamiento: Deflexión mecánica y electromagnética.
• Platina totalmente eucéntrica control por ordenador y movimientos motorizados (X, Y, R, T, Z) con corrección de  backlash.

Movimientos de muestras:

• Eje X: 70 mm.
• Eje Y: 50 mm.
• Eje Z: 1,5 a 25 mm (continuo).
• Inclinación (T): –5º a +70º.
• Rotación (R): 360º.

Sistema de detección de electrones:

• Detector “in lens” SEI/BEI: Upper. Colector, centellador, guía de luz y tubo fotomultiplicador.
• Detector en cámara de muestras: Colector, centellador, guía de luz y tubo fotomultiplicador. SEI.
• Detector BE de bajo ángulo  .

Sistema de vacío:

• Cámaras cañón/intermedia: Bombas iónicas de ultra alto vacío.
• Cámara de muestras: Sistema automático de bomba turbomolecular.
• Válvula aislamiento de la cámara de cañón.
• Bombas de vacío:
  • Bombas iónicas (SIP).
  • Bomba turbomolecular.
  • Bomba rotatoria.
  • Tanque de reserva de vacío.